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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

J VAC SCI TECHNOL B

ISSN：1071-1023　E-ISSN：— 　出版商：A V S AMER INST PHYSICS 　国家：UNITED STATES 　周期：Bimonthly

影响因子（—）

暂无

中科院分区（2025 官方末版）

4 区

JCR 分区

暂无

审稿周期

约13 周

录用比例

暂无

收录情况

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期刊简介

Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing| measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing| plasma processing and microlithography among others| while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.

投稿经验（0 条，）

materix 　2017-01-30 13:06:00.0

半导体制造工业界认可这个刊物。最好的是JAP，第二是这个（含A，B），认为比IEEE的对应刊物高。发过一篇，要了100份抽印本，总共交了1700美元。

hongxd 　2015-04-03 11:48:00.0

9月10日投稿，两个月后返回，小修，两个审稿人，各提了两三个问题，用了一个礼拜修改和补充实验后提交。后来，主编非常负责任，又帮我通篇修改了语法和表达。12月30日正式接收，前后花了3个多月。老牌主流杂志，非常正规，编辑人也很nice，尽管影响因子不高。版面费好像是可选的，我的没有交，并不影响。

ssyynnn 　2013-07-29 21:07:00.0

美国真空协会的老牌杂志，审稿速度很快，两个审稿人。应该是有版面费，小修后接收。

伏羲伏羲　2011-09-04 20:49:00.0

投出去50多天一直都是under review，第60天终于收到回信，请了两位referee,給了很多意见，其中一个把很多语法错误都给改正了，感动啊！文章估计要大改了。编辑也给了很多意见，包括很多文件格式的意见，很中肯

数据整理自公开网络的投稿反馈，仅供参考。